カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕
所属
明治大学 理工学部
職種
専任准教授
発表年月日
2014/09/18
発表テーマ
NH
3
およびN
2
を用いたAl薄膜の直接窒化によるAlN薄膜の形成
会議名
第75回応用物理学会秋季学術講演会（18a-A24-1）
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
開催地名
北海道大学
発表者・共同発表者
梶原舜，濱崎聖士，勝俣裕