オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003/04
発表テーマ	Evaluation of commercial Ultra-thin SOI Substrates using Confocal Laser Inspection System
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　International Sympoisum on silicon-on-insulator Technology and Devices O.Okabayashi