カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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発表年月日 | 2015/03/13 |
発表テーマ | 共スパッタリング法によるアモルファスSi/β-FeSi2複合薄膜の形成 |
会議名 | 第62回応用物理学会春季学術講演会(13a-A25-9) |
学会区分 | 全国学会 |
発表形式 | 口頭(一般) |
単独共同区分 | 共同 |
開催地名 | 東海大学 |
発表者・共同発表者 | 澤田 真志, 中沢 公大, 勝俣 裕 |