オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2002
発表テーマ
有機金属原料を用いたハフニウムシリケート薄膜ＣＶＤ
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
化学化工業会シンポジウム２００２
大下、石川、加田、町田、小椋