オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2002/11
発表テーマ	Partial SOI/SON Formation by He^+^ Implantation and Annealing
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際学会　　IEEE International SOI Conference