カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2018/07/21
発表テーマ	共スパッタリング法によるMgSiSn薄膜の形成と物性評価
会議名	第18回シリサイド系半導体夏の学校
主催者	公益社団法人応用物理学会　シリサイド系半導体と関連物質研究会
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	静岡県立森林公園森の家
発表者・共同発表者	布施　翔太郎,和田　英之, 勝俣　裕