カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2019/03/11
発表テーマ	シリコン酸化膜中の非晶質・ナノ結晶SiCの形成と光物性評価
会議名	第66回応用物理学会春季学術講演会（11p-S223-15）
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	東京工業大学 大岡山キャンパス
発表者・共同発表者	成松 伶，川村 寿栄，森本 一総，勝俣 裕