カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2021/11/15
発表テーマ	Film properties of silicon nitride thin films embedded with nanocrystalline Si
会議名	TACT2021 International Thin Films Conference (A-P-166)
主催者	Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology
学会区分	国際学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	National Taipei University of Technology (Virtual conference)
開催期間	2021/11/15～2021/11/18
発表者・共同発表者	Tomohiro Matsuda , Takumi Kidokoro, Hiroshi Katsumata