カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2022/07/31
発表テーマ Correlation between Plasma Color and Properties of Mg2Si Thin Films formed by RF Magnetron Sputtering
会議名 6th Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides (APAC SILICIDE 2022) (P-II-12, pp.151-15)
学会区分 国際学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
開催地名 On-line
開催期間 2022/07/30~2022/08/01
発表者・共同発表者 Yuto Hida, Syunta Owari, Kenta Uefuji and Hiroshi Katsumata