カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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発表年月日 | 2022/07/31 |
発表テーマ | Correlation between Plasma Color and Properties of Mg2Si Thin Films formed by RF Magnetron Sputtering |
会議名 | 6th Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides (APAC SILICIDE 2022) (P-II-12, pp.151-15) |
学会区分 | 国際学会 |
発表形式 | ポスター |
単独共同区分 | 共同 |
開催地名 | On-line |
開催期間 | 2022/07/30~2022/08/01 |
発表者・共同発表者 | Yuto Hida, Syunta Owari, Kenta Uefuji and Hiroshi Katsumata |