カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2007/03
発表テーマ 高圧水照射によるSi表面酸化とそのMOS特性
会議名 第54回応用物理学関係連合講演会,東京
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 勝俣裕,齋藤誠,藤田博,西村絵里子,戸野谷純一,新村忠