カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	1995/02/05
発表テーマ	Optical and structural properties of β-FeSi2 layers on Si fabricated by triple 56Fe ion implantations
会議名	9th International Conference on Ion Beam Modification of Materials,Canberra, Australia
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	H. Katsumata, H. Shen, N. Kobayashi, Y. Makita, M. Hasegawa, H. Shibata, S. Kimura, A. Obara, and S. Uekusa