ツツミ　トシユキ   Tsutsumi Toshiyuki   堤　利幸    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2000/04
発表テーマ	'Spectroscopic Ellipsometry for the Characterization of the Morphology of Ultra-thin Thermal CVD Amorphous and Nanocrystalline Silicon Thin Films'
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	◎S. HAZARA*(ETL・STA fellow) , M. YAMANAKA*(ETL・主任研究官) , I. SAKATA*(ETL・主任研究官) , T. TSUTSUMI(助手) , T. MAEDA*(ETL・主任研究官) , H. TAGUCHI*(Science Univ of Tokyo・大学院生) , E. SUZUKI*(ETL・主任研究官)