オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2002/08
発表テーマ	Organometallic Hf and Si precursors for Hf_1-x_Si_x_O_2_ thin film formation characterization
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　Atomic Layer Deposition (ALD2002) Conference M.ishikawa, T.Kada, M.Ishikawa, Y.Ohshita