オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2002/03
発表テーマ 低速陽電子ビームによるSOIウエハーの欠陥と水素の相互作用の研究
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 応用物理学界 春季応用物理学関係連合講演会
上殿、Chen、小椋、大平、鈴木、三角