オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/09
発表テーマ	Evaluation of strain at Si_3_N_4_/Si interface by In-plane X-ray deffraction and UV-Raman spectroscopy
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'International Workshop on sustenable enrgy and material 2006 (Tokyo) ◎Y. Kakemura, K. Yamasaki, D. Kosemura, T. Yoshida and A. Ogura'