オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2001/09
発表テーマ MOCVDによるHfO_2_膜の堆積―シリケート成膜
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 応用物理学会 秋季学術講演会
町田、石川、星野、小椋、大下