オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2001/07
発表テーマ MOCVD precursors for Ta and Hf compound films
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際会議 Internationl Conference on Crystal Glowth
H.Machida, A.Hoshino, T.Suzuki, and Y.Oshita