オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2001/03
発表テーマ	Gas Phase Chemical Reaction in Tantalum Nitride Low-pressure Chemical Vapor Deposition
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　Meeting of The Electrochemical Society Y.Ohshita,A.Hoshino,S.Hiro,A.Tawara, and H.Machida