オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2000/11
発表テーマ	Control of buried oxide formation in low-dose SIMOX process
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　Advanced Science and Technology of Silicon Materials