オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2006/09
発表テーマ W-CVD using (i-PrCp)_2_WH_2_
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 'International Workshop on sustenable enrgy and material 2006 (Tokyo) ◎S. Imai, T. Kagawa, H. Kurozaki, A. Ogura, M. Ishikawa, I. Muramoto, H. Machida and Y. Ohshita'