オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1998/09
発表テーマ	低ドーズＳＩＭＯＸにおける埋め込み酸化膜形成過程の制御
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	応用物理学会　秋季学術講演会