オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 1997/09
発表テーマ Preciese Measurement of Strain in SOI Induced by Local Oxidation
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際会議  International Conference on Solid State Devices and Materials
S.Kimura