オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1989/10
発表テーマ	SOI characterization and orientation control:XTEM observat ion and 2-step laser annealing
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	新機能素子技術シンポジウム（招待講演）