オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2006/08
発表テーマ
極端に非対称なX線回析法を用いたシリコン高圧酸化膜の界面格子歪評価
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
応用物理学会秋季学術講演会 ◎吉田、秋本、伊藤、榎本、山本、大下、小椋