オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/05
発表テーマ	Discussion on Issues Toward 450mm Wafer
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'Inveited Silicon Materials Science and Technology Simposium Ⅹ, 209th Meeting of The Electrochemical (Denver, Colorado) ◎M. Watanabe, T. Fukuda, A. Ogura, Y. Kirino and M. Kohno '