オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2006/03
発表テーマ Measurement of in-plane and depth profiles of strain in strained-Si substrates
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 'Second Workshop of the Thematic Network on Silicon on Insulator technology, devices and circuits (Grenoble, France) ◎D. Kosemura, K. Yamasaki, S. Tanaka and A. Ogura'