オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2006/11
発表テーマ	X-ray photoelectron spectroscopy study on SiO_2_ formed on several orientated c-Si in high pressure water vapo
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'2006 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY (Kawasaki) ◎N. Yamamoto, S. Tanakak, H. Sai, R. Imai, E. Ikenaga, I. Hirosawa, Y. Ohshita and A. Ogura'