オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2002/09
発表テーマ	Reduction of Pattern Edge Defects in Partial SOI by LII (Light IonImplantation) Technique
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　International Conference on Solid State Devices and Materials