オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/10
発表テーマ	Chemical Vapor Deposition of Ni-silicide for gate electrode
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'Advanced Metallization Conference 2005 (Tokyo) ◎M. Ishikawa, I. Muramoto, H. Machida, Y. Ohshita, S. Imai and A. Ogura'