オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2005/09
発表テーマ	Composition control of Ni-silicide by CVD using Ni(PF_3_)_4_ and Si_3_H_8_
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	'International Conference on Solid State Devices and Materials (Kobe, Japan) ◎M. Ishikawa, I. Muramoto, H. Machida, Y. Ohshita, S. Imai and A. Ogura'