オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2004/03
発表テーマ 放射光X線回析法による歪Si/SiGe/Si基板(市販)の格子歪評価(Ⅱ)―局所構造
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 春季応用物理学関係連合講演会
福田、富田、原、津坂、篭島、松井、小椋