オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003
発表テーマ	Vacancy-type defects in SOI wafwrs probed by monoenergetic positron beam
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　The Forum on the Science Technology of Silicon Materials2003 A.UEdono, N.Hattori, J.Kudo, T.Nishikawa