オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2003
発表テーマ 市販SOI基板中欠陥の分布および構造解析
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会 第97回研究会結晶