オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2003/04
発表テーマ Evaluation of commercial Ultra-thin SOI Substrates using Confocal Laser Inspection System
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際会議  International Sympoisum on silicon-on-insulator Technology and Devices
O.Okabayashi