オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2002/12
発表テーマ	SOI Formation by Light ION Implantation and Annealing in Oxigen Including Atmoshere
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　International Workshop on Junction Technology