オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2002/11
発表テーマ Partial SOI/SON Formation by He^+^ Implantation and Annealing
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 国際学会  IEEE International SOI Conference