ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌
所属
明治大学 理工学部
職種
助教
発表年月日
2021/09/12
発表テーマ
次世代VLSI配線の熱制御に向けたRu/TaN/Si化学結合状態の評価
会議名
第82回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
佐原 敬太, 横川 凌, 西原 達平, 澤本 直美, 詹 天卓, 渡邉 孝信, 小椋 厚志