ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2021/10/10
発表テーマ	Evaluation of Chemical and Physical Conformality for SiNx Films Deposited on Trench Substrate By Atomic Layer Deposition
会議名	240th ECS Meeting
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（招待・特別）
単独共同区分	共同
招待講演	招待講演
発表者・共同発表者	Atsushi Ogura, Ryo Yokogawa, Tappei Nishihara, Yuji Otsuki, Munehito Kagaya