ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2021/10/10
発表テーマ	Evaluation of Chemical Bonding States in Multilayer Interconnect Structures for Thermal Management in Next Generation Very Large Scale Integration
会議名	240th ECS Meeting
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	Keita Sahara, Ryo Yokogawa, Tappei Nishihara, Naomi Sawamoto, Tianzhuo Zhan, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura