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ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌 所属 明治大学 理工学部 職種 助教 |
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| 発表年月日 | 2019/10/30 |
| 発表テーマ | Stress Evaluation Induced by Wiggling SiN Fine Pattern by Using Raman Spectroscopy |
| 会議名 | 32nd International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2019) |
| 学会区分 | 国際学会 |
| 発表形式 | ポスター |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 発表者・共同発表者 | Masato Koharada, Ryo Yokogawa, Naomi Sawamoto, Kazutoshi Yoshioka, Atsushi Ogura |