ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌
所属
明治大学 理工学部
職種
助教
発表年月日
2019/09/18
発表テーマ
ラマン分光法を用いたWigglingシリコン窒化膜パターンによる応力評価
会議名
第80回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
小原田 賢聖, 横川 凌, 澤本 直美, 吉岡 和俊, 小椋 厚志