ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2019/09/18
発表テーマ	レーザーアニール又はRTAを施したSnドープSiGe膜の歪評価
会議名	第80回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	小孫 翔大, 横川 凌, 吉岡 和俊, 澤本 直美, ボーランド ジョン, 黒井 隆, 川崎 洋司, 小椋 厚志