ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2019/03/09
発表テーマ	ラマン分光法を用いたプラズマCVD堆積SiNおよびa-C膜の応力評価
会議名	第66回応用物理学会春季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	小原田 賢聖, 横川 凌, 小椋 厚志