ヨコガワ リョウ   YOKOGAWA RYO
  横川 凌
   所属   明治大学  理工学部
   職種   助教
発表年月日 2018/09/18
発表テーマ パターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価
会議名 第79回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 吉岡 和俊, 横川 凌, 澤本 直美, 小椋 厚志