ヨコガワ リョウ   YOKOGAWA RYO
  横川 凌
   所属   明治大学  理工学部
   職種   助教
発表年月日 2020/09/10
発表テーマ Si-IGBT作製プロセスにおける水素熱処理の影響
会議名 第81回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 門 龍翔, 横川 凌, 沼沢 陽一, 筒井 一生, 角嶋 邦之, 小椋 厚志