ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌
所属
明治大学 理工学部
職種
助教
発表年月日
2020/09/11
発表テーマ
トレンチ形成Si基板にALD成膜したSiN膜の評価
会議名
第81回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
西原 達平, 横川 凌, 大槻 友志, 加賀谷 宗, 小椋 厚志