ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2017/10/10
発表テーマ	Evaluation of anisotropic biaxial stress induced around trench gate of Si power transistor using water-immersion Raman spectroscopy
会議名	7th Conference on Defect Recognition and Image, Processing in Semiconductors (DRIP XVII)
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	Takahiro Suzuki, Ryo Yokogawa, Kohei Oasa, Tatsuya Nishiwaki, Takeshi, Hamamoto, Atsushi Ogura