ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2020/10/06
発表テーマ	Evaluation of Silicon Nitride Film Formed by Atomic Layer Deposition on the Silicon Substrate with Trench Structure Using Angle-Resolved Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy
会議名	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020)
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	Tappei Nishihara, Ryo Yokogawa, Yuji Otsuki, Munehito Kagaya, Atsushi Ogura