ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2021/03/18
発表テーマ	ラマン分光法およびPL法を用いたSiトレンチ加工による結晶欠陥評価
会議名	第68回応用物理学会春季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催期間	2021/03/16～2021/03/19
発表者・共同発表者	小原田 賢聖, 佐竹 雄太, 吉際 潤, 嵯峨 幸一郎, 岩元 勇人, 門 龍翔, 澤本 直美, 横川 凌, 小椋 厚志