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担当経験のある科目・講演等
(最終更新日:2022-08-30 21:06:18)
ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌
所属
明治大学 理工学部
職種
助教
■
著書・論文
1.
2022/08
論文
Study on phonon lifetime in bulk silicon–germanium through observation of acoustic phonon spectra broadening by inelastic x-ray scattering Applied Physics Letters 121(8),pp.082105-082105 (共著)
2.
2022/02
論文
Modification and Characterization of Interfacial Bonding for Thermal Management of Ruthenium Interconnects in Next-Generation Very-Large-Scale Integration Circuits ACS Applied Materials and Interfaces 14(5),pp.7392-7404 (共著)
3.
2021/11
論文
Atomic mass dependency of a localized phonon mode in SiGe alloys AIP Advances 11,pp.115225-1-115225-10 (共著)
4.
2021/07
論文
Dependency of a localized phonon mode intensity on compositional cluster size in SiGe alloys AIP Advances 11(7),pp.075017-075017 (共著)
5.
2021/05
論文
Thermal conductivity and inelastic X-ray scattering measurements on SiGeSn polycrystalline alloy Japanese Journal of Applied Physics 60(SB) (共著)
6.
2020/12
論文
Strain evaluation in Ge and Sn implanted Si layers with laser and rapid thermal annealing Materials Science in Semiconductor Processing 120,pp.105282-105282 (共著)
7.
2020/11
論文
Origin of carrier lifetime degradation in floating-zone silicon during a high-temperature process for insulated gate bipolar transistor Japanese Journal of Applied Physics 59,pp.115503-1-115503-6 (共著)
8.
2020/09
論文
Evaluation of Thermal Conductivity Characteristics in Polycrystalline Silicon - The Effect of Nanostructure in the Grains ECS Transactions 98(5),pp.437-446 (共著)
9.
2020/09
論文
Evaluation of Silicon Nitride Film Formed by Atomic Layer Deposition on the Silicon Substrate with Trench Structure Using Angle-Resolved Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy ECS Transactions 98(3),pp.113-120 (共著)
10.
2020/09
論文
Evaluation of Thermal Expansion Coefficient in Ge
1-x
Sn
x
Nanowire Using Reciprocal Space Mapping ECS Transactions 98(5),pp.481-490 (共著)
11.
2020/09
論文
Evaluation of Temperature and Germanium Concentration Dependence of EXAFS Oscillations in Si-Rich Silicon Germanium Thin Films ECS Transactions 98(5),pp.473-479 (共著)
12.
2020/09
論文
Observation of an Unidentified Phonon Peak in SiGe Alloys and Superlattices Using Molecular Dynamics Simulation ECS Transactions 98(5),pp.533-546 (共著)
13.
2020/09
論文
Evaluation of Strain-Shift Coefficients for SiSn by Raman Spectroscopy ECS Transactions 98(5),pp.291-300 (共著)
14.
2020/09
論文
Evaluation of Phonon Dispersion Relation for Bulk Silicon Germanium by Inelastic X-ray Scattering ECS Transactions 98(5),pp.465-472 (共著)
15.
2020/07
論文
Quantification of Ge fraction using local vibrational modes in Raman spectra of silicon germanium by oil-immersion Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 59(7),pp.075502-075502 (共著)
16.
2020/06
論文
Anomalous low energy phonon dispersion in bulk silicon-germanium observed by inelastic x-ray scattering Applied Physics Letters 116(24),pp.242104-242104 (共著)
17.
2020/06
論文
Phonon dispersion of bulk Ge-rich SiGe: inelastic X-ray scattering studies Japanese Journal of Applied Physics 59(6),pp.061003-1-061003-6 (共著)
18.
2020/06
論文
Stress evaluation induced by wiggling silicon nitride fine pattern using Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 59(SI),pp.SIIF03-1-SIIF03-6 (共著)
19.
2020/05
論文
Thermal conductivity characteristics in polycrystalline silicon with different average sizes of grain and nanostructures in the grains by UV Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics (共著)
20.
2020/03
論文
Anisotropic biaxial stress evaluation in metal-organic chemical vapor deposition grown Ge1-xSnx mesa structure by oil-immersion Raman spectroscopy Thin Solid Films 697,pp.137797-1-137797-5 (共著)
21.
2019/06
論文
Evaluation of thermal conductivity characteristics in Si nanowire covered with oxide by UV Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 58(SD),pp.SDDF04-1-SDDF04-5 (共著)
22.
2019/06
論文
Ultra-Thin Lightweight Bendable Crystalline Si Solar Cells for Solar Vehicles Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference pp.1131-1134 (共著)
23.
2019/04
論文
Evaluations of minority carrier lifetime in floating zone Si affected by Si insulated gate bipolar transistor processes Japanese Journal of Applied Physics 58(SB),pp.SBBD07-SBBD07 (共著)
24.
2018/10
論文
Determination of phonon deformation potentials and strain-shift coefficients in Ge-rich Si1-xGex using bulk Ge-rich Si1-xGex crystals and oil-immersion Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 57(10),pp.106601-106601 (共著)
25.
2018/09
論文
Strain Evaluation of Laser-annealed SiGe Thin Layers ECS Transactions 86(7),59-65頁 (共著)
26.
2018/09
論文
Determination of Phonon Deformation Potentials in Carbon-doped Silicon ECS Transactions 86(7),pp.419-425 (共著)
27.
2018/09
論文
Evaluation of Anisotropic Three-Dimensional Strain Relaxation in Stripe-Shaped Ge1-xSnx Mesa Structure ECS Transactions 86(7),pp.329-336 (共著)
28.
2018/09
論文
Evaluation of Laterally Graded Silicon Germanium Wires for Thermoelectric Devices Fabricated by Rapid Melting Growth 86(7),pp.87-93 (共著)
29.
2018/05
論文
Miniaturized planar Si-nanowire microthermoelectric generator using exuded thermal field for power generation Science and Technology of Advanced Materials 19(1),pp.443-453 (共著)
30.
2018/05
論文
Evaluation of Anisotropic Biaxial Stress Induced Around Trench Gate of Si Power Transistor Using Water-Immersion Raman Spectroscopy Journal of Electronic Materials 47,pp.5050-5055 (共著)
31.
2017/11
論文
Probing spatial heterogeneity in silicon thin films by Raman spectroscopy Scientific Reports 7,pp.16549-1-16549-8 (共著)
32.
2017/11
論文
Local anisotropic strain evaluation in thin Ge epitaxial film using SiGe stressor template grown on Ge substrate by selective ion implantation 56(11),pp.110313-110313 (共著)
33.
2017/10
論文
Enhanced nickelidation rate in silicon nanowires with interfacial lattice disorder Journal of Applied Physics 122(14),pp.144305-144305 (共著)
34.
2017/06
論文
Evaluation of controlled strain in silicon nanowire by UV Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 56(6S1),pp.06GG10-06GG10 (共著)
35.
2016/09
論文
Biaxial stress evaluation in GeSn film epitaxially grown on Ge substrate by oil-immersion Raman spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics 55(9),pp.091301-091301 (共著)
36.
2016/07
論文
Origin of additional broad peaks in Raman spectra from thin germanium-rich silicon-germanium films Applied Physics Express 9(7),pp.071301-071301 (共著)
37.
2016/05
論文
Crystallinity Evaluation of Low Temperature Polycrystalline Silicon Thin Film Using UV/Visible Raman Spectroscopy ECS Transactions 72(4),pp.249-255 (共著)
38.
2015/05
論文
Evaluation of Anisotropic Biaxial Stress in Si1-XGeX/Ge Mesa-Structure by Oil-Immersion Raman Spectroscopy ECS Transactions 66(4),pp.39-45 (共著)
39.
2015/05
論文
On the Origin of the Gate Oxide Failure Evaluated by Raman Spectroscopy ECS Transactions 66(4),pp.237-243 (共著)
40.
2014/10
論文
Evaluation of Anisotropic Biaxial Stress in Thin Strained-SiGe Layer Using Surface Enhanced Raman Spectroscopy ECS Transactions 64(6),pp.841-847 (共著)
5件表示
全件表示(40件)
■
学会発表
1.
2022/03/03
IV族半導体のフォノン物性評価-LSIおよび熱電素子応用を目指して((独)日本学術振興会 結晶加工と評価技術 第145委員会 第175研究会)
2.
2022/01/13
放射光技術を利用した次世代熱電発電デバイス用Ⅳ族半導体の微小領域熱特性評価(第9回SPring-8次世代先端デバイス研究会/第72回SPring-8先端利用技術ワークショップ 「半導体プロセス開発の現状と放射光の役割」)
3.
2021/12/13
Strain Behaviors and Characteristics of Phonon Transports in Group IV Semiconductors Observed by Synchrotron Radiation Techniques(Material Research Meeting 2021 (MRM2021))
4.
2021/10/10
Evaluation of Chemical Bonding States in Multilayer Interconnect Structures for Thermal Management in Next Generation Very Large Scale Integration(240th ECS Meeting)
5.
2021/10/10
Evaluation of Chemical and Physical Conformality for SiNx Films Deposited on Trench Substrate By Atomic Layer Deposition(240th ECS Meeting)
6.
2021/10/10
Anisotropic in-Plane and out-of-Plane Strain Relaxation in Carbon-Doped Silicon Nanowires Evaluated by X-Ray Reciprocal Space Mapping(240th ECS Meeting)
7.
2021/10/10
Optical Properties of Bulk Silicon Germanium in the Near Infrared Evaluated By Spectroscopic Ellipsometry(240th ECS Meeting)
8.
2021/10/10
Evaluation of Mo
(1-x)
W
x
s Alloy Fabricated By Combinatorial Film Deposition(240th ECS Meeting)
9.
2021/10/10
Effect of Growth Parameters on MoS
2
Film Quality Deposited by Low-Temperature MOCVD Using I-Pr
2
DADmo(CO)
3
and (t-C
4
H
9
)2S
2
(240th ECS Meeting)
10.
2021/09/13
Effect of cluster size distribution in SiGe alloys on local phonon mode intensity(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
11.
2021/09/13
分子動力学法を用いたSiO
2
/Si/SiO
2
薄膜内の低エネルギーフォノンの振動モード解析(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
12.
2021/09/13
分子動力学法を用いたSiGe混晶内の低エネルギー局在フォノンの振動モード解析(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
13.
2021/09/12
Asymmetrically-strained (110) SGOI pMOSFETs for hole mobility enhancement in extremely-thin body channels(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
14.
2021/09/12
Hole mobility enhancement in extremely-thin body asymmetrically-strained (100) GOI pMOSFETs(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
15.
2021/09/12
次世代VLSI配線の熱制御に向けたRu/TaN/Si化学結合状態の評価(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
16.
2021/09/12
X線非弾性散乱法によるBulk SiGe低エネルギー側フォノンスペクトルと光学モードの線幅評価(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
17.
2021/09/10
分光エリフプソメトリーによるBulk SiGeの近赤外光学特性評価(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
18.
2021/09/10
X線逆格子空間マッピングを用いたカーボンドープシリコンナノワイヤにおける3軸歪評価(II)(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
19.
2021/09/10
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価 III(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
20.
2021/09/10
無歪GeSn(Sn 9%)のバンドPL端発光(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
21.
2021/09/10
緩和GeSn層を用いた無歪ラマンシフトの導出(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
22.
2021/09/10
液浸ラマン分光法で観測されるGOI極薄膜ラマンスペクトルのブロードピークと歪の関係に関する考察(第82回応用物理学会秋季学術講演会)
23.
2021/09/08
Anisotropic Strain States in Extremely-Thin Body Ge-on-Insulator p-type MOSFET Observed by Oil-Immersion Raman Spectroscopy(2021 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2021))
24.
2021/09/07
Phonon Spectral Line-Width for Acoustic Modes in Bulk SiGe Observed by Inelastic X-ray Scattering(2021 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2021))
25.
2021/07/02
放射光X線回折による酸化膜/Si界面の熱特性評価の検討(第5回フォノンエンジニアリング研究会)
26.
2021/03/18
ラマン分光法によるAsイオン注入Siの歪評価(第68回応用物理学会春季学術講演会)
27.
2021/03/18
ラマン分光法およびPL法を用いたSiトレンチ加工による結晶欠陥評価(第68回応用物理学会春季学術講演会)
28.
2021/03/17
X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価(第68回応用物理学会春季学術講演会)
29.
2021/03/17
X線非弾性散乱法によるBulk SiGeフォノンスペクトルの線幅測定(第68回応用物理学会春季学術講演会)
30.
2021/03/16
Unidentified SiGe Phonon Mode: The effect of an atomic mass difference(The 68th JSAP Spring Meeting 2021)
31.
2020/12/11
X線非弾性散乱法で観測されるBulk SiGe単結晶フォノンスペクトルの振る舞い(第四回フォノンエンジニアリング研究会)
32.
2020/12/08
X線非弾性散乱法を用いたSiGe混晶フォノン物性の考察(MRMフォーラム2020)
33.
2020/10/09
Evaluation of Thermal Expansion Coefficient in Ge1-xSnx Nanowire Using Reciprocal Space Mapping(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
34.
2020/10/09
Evaluation of Temperature and Germanium Concentration Dependence of EXAFS Oscillations in Si-Rich Silicon Germanium Thin Films(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
35.
2020/10/09
Evaluation of Phonon Dispersion Relation for Bulk Silicon Germanium by Inelastic X-ray Scattering(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
36.
2020/10/09
Evaluation of Strain-Shift Coefficients for SiSn by Raman Spectroscopy(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
37.
2020/10/06
Evaluation of Thermal Conductivity Characteristics in Polycrystalline Silicon - The Effect of Nanostructure in the Grains(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
38.
2020/10/06
Observation of an Unidentified Phonon Peak in SiGe Alloys and Superlattices Using Molecular Dynamics Simulation(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
39.
2020/10/06
Evaluation of Silicon Nitride Film Formed by Atomic Layer Deposition on the Silicon Substrate with Trench Structure Using Angle-Resolved Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy(Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020))
40.
2020/09/29
Chemical Structure of SiN Films Deposited on High Aspect Trench by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition(2020 International Conference on Solid State Devices and Materials)
41.
2020/09/29
Effect of Ion Irradiation on Thermal Conductivity along SiO2/Si Interface Evaluated by Molecular Dynamics(2020 International Conference on Solid State Devices and Materials)
42.
2020/09/28
Inelastic X-ray Scattering Measurement on SiGeSn Polycrystalline Alloy(2020 International Conference on Solid State Devices and Materials)
43.
2020/09/11
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価 II(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
44.
2020/09/11
トレンチ形成Si基板にALD成膜したSiN膜の評価(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
45.
2020/09/10
Si-IGBT作製プロセスにおける水素熱処理の影響(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
46.
2020/09/09
Bulk SiGeを用いたSi-Siモード無歪ラマンシフトの導出(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
47.
2020/09/09
SiGeSn多結晶のX線非弾性散乱測定(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
48.
2020/09/08
Ta/TaN化学結合状態と熱抵抗との相関(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
49.
2020/09/08
X線非弾性散乱法によるBulk SiGe低エネルギー側フォノンスペクトルのフォノン分散曲線評価(第81回応用物理学会秋季学術講演会)
50.
2020/03/14
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造が及ぼす熱伝導特性評価(Ⅱ)(第67回応用物理学会春季学術講演会)
51.
2020/03/14
液浸ラマン分光法を用いたMoS
2
のキャリア濃度評価(第67回応用物理学会春季学術講演会)
52.
2020/03/14
X線非弾性散乱法によるBulk SiGe単結晶フォノン分散曲線の測定(第67回応用物理学会春季学術講演会)
53.
2020/03/13
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価(第67回応用物理学会春季学術講演会)
54.
2020/03/12
Si基板へのイオン注入とレーザーアニールで作製したSi
1-x-y
Ge
x
Sn
y
薄膜の歪評価(第67回応用物理学会春季学術講演会)
55.
2020/03/12
低Ge濃度SiGe薄膜におけるEXAFS振動の温度とGe濃度依存性の評価(第67回応用物理学会春季学術講演会)
56.
2020/03/12
逆格子空間マッピングを用いたGe
1-x
Sn
x
メサ構造における熱膨張係数評価(第67回応用物理学会春季学術講演会)
57.
2020/03/12
逆格子空間マッピングによるGe
1-X
Sn
X
メサ構造における原子間隔分布の検討(第67回応用物理学会春季学術講演会)
58.
2020/03/12
UVラマン分光法による単結晶Si
1-x
Sn
x
の歪換算係数導出(第67回応用物理学会春季学術講演会)
59.
2019/12/13
Evaluation of Temperature and Ge Concentration Dependence of EXAFS Oscillations in SiGe Thin Films(Materials Research Meeting 2019 (MRM2019))
60.
2020/01/31
Origin of Anomalous Phonon State in SiGe Alloys Studied with Molecular Dynamics(電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―(第25回研究会))
61.
2019/12/13
Investigation of Phonon Dispersion Curve for Silicon Germanium Alloy by Using Inelastic X-ray Scattering(Materials Research Meeting 2019 (MRM2019))
62.
2019/11/27
Strain Evaluation of Laser-annealed or RTA Sn-doped SiGe Layers(8th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces)
63.
2019/11/05
Characterization of Bendable Crystalline Si Solar Cells Made by Ultra-thin Wafer Slicing(29th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-29))
64.
2019/10/30
Stress Evaluation Induced by Wiggling SiN Fine Pattern by Using Raman Spectroscopy(32nd International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2019))
65.
2019/10/16
Determination of Phonon Deformation Potentials in Carbon-doped Silicon(236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting)
66.
2019/10/16
Evaluation of Thermal Conductivity Characteristics in Polycrystalline Silicon Grains with Nanostructures by Raman Spectroscopy(236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting)
67.
2019/10/16
Temperature Measurement for Si Nanowire Thermoelectric Generators by Operand Raman Spectroscopy(236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting)
68.
2019/09/20
薄型フレキシブルSi太陽電池へ向けたスライスダメージ評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
69.
2019/09/19
XAFS測定を用いた低温下におけるSi基板上SiGe薄膜の局所構造評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
70.
2019/09/19
X線非弾性散乱法で観測される低エネルギー側Bulk SiGeフォノンスペクトルの考察(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
71.
2019/09/19
X線非弾性散乱法によるBulk Si
1-x
Ge
x
(x=0.72)単結晶のフォノン分散測定(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
72.
2019/09/19
高濃度SiGeラマンスペクトルの局在振動モードを利用したGe濃度定量(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
73.
2019/09/18
ラマン分光法を用いたWigglingシリコン窒化膜パターンによる応力評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
74.
2019/09/18
レーザーアニール又はRTAを施したSnドープSiGe膜の歪評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
75.
2019/09/18
実験室系硬X線光電子分光法による埋もれた界面の化学結合状態評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
76.
2019/09/18
ラマン分光法による酸化膜被覆プロセスの異なるSOI薄膜における熱伝導特性評価(第80回応用物理学会秋季学術講演会)
77.
2019/09/10
Evaluation of Strain Relaxation in Stripe-Shaped Ge
1-x
Sn
x
Mesa Structure Using X-ray Diffraction Reciprocal Space Mapping(18th Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII))
78.
2019/09/10
Evaluation of Anisotropic Stress for Laterally Graded Silicon Germanium Wires by Raman Spectroscopy(18th Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII))
79.
2019/09/09
Sawing Damage Control for Thin Flexible Si Solar Cells(36th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EU PVSEC 2019))
80.
2019/09/05
逆格子マッピングを用いたGe
1-x
Sn
x
微細構造における歪評価(第16回SPring-8産業利用報告会)
81.
2019/07/06
X線非弾性散乱法による単結晶SiGeのフォノン分散評価(第3回フォノンエンジニアリング研究会)
82.
2019/07/05
多結晶シリコン粒内のフォノン散乱要因評価(第3回フォノンエンジニアリング研究会)
83.
2019/06/18
Ultra-Thin Lightweight Bendable Crystalline Si Solar Cells for Solar Vehicles(46th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC 46))
84.
2019/04/18
放射光を用いたIV族半導体の物性評価(第150回結晶工学分科会研究会 これからはじめる放射光 ~微細評価の新展開~)
85.
2019/03/15
IV族半導体微細加工による熱電材料の機能発現と物性評価(第5回 大型実験施設とスーパーコンピュータとの連携利用シンポジウム)
86.
2019/03/12
水浸ラマン分光法によるパターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
87.
2019/03/12
液浸ラマン分光法による組成傾斜SiGeワイヤの異方性二軸応力分布評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
88.
2019/03/12
逆格子空間マッピングを用いたGe
1-x
Sn
x
メサ構造における歪緩和評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
89.
2019/03/11
Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価-III-(第66回応用物理学会春季学術講演会)
90.
2019/03/09
ラマン分光法を用いたプラズマCVD堆積SiNおよびa-C膜の応力評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
91.
2019/03/09
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造が及ぼす熱伝導特性評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
92.
2019/03/09
ラマン分光法による酸化膜を被覆したSiナノワイヤ界面近傍の熱伝導特性評価(第66回応用物理学会春季学術講演会)
93.
2019/01/25
ラマン分光法によるAr
+
イオンを照射した酸化膜被覆型Siナノワイヤの熱伝導特性評価(電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―(第24回研究会))
94.
2018/11/19
Minority carrier lifetime degradation in FZ-Si by advanced Si-IGBT processes(The Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2018)
95.
2018/11/16
Evaluation of thermal conductivity characteristics in Si nanowire covered with oxide by UV Raman spectroscopy(31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018))
96.
2018/10
Determination of Phonon Deformation Potentials in Carbon-doped Silicon(2018 Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science)
97.
2018/10
Evaluation of Anisotropic Three-Dimensional Strain Relaxation in Stripe-Shaped Ge1-xSnx Mesa Structure(2018 Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science)
98.
2018/10
Evaluation of Laterally Graded Silicon Germanium Wires for Thermoelectric Devices Fabricated by Rapid Melting Growth(2018 Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science)
99.
2018/09/30
Strain Evaluation of Laser-annealed SiGe Thin Layers(2018 Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science)
100.
2018/09/20
ラマン分光法による酸化膜を被覆したSOI薄膜の熱伝導特性評価(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
101.
2018/09/19
Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価-II-(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
102.
2018/09/18
液浸ラマン分光法で観測される高濃度SiGeラマンスペクトルのブロードピークを利用したGe濃度定量(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
103.
2018/09/18
C及びGeイオン注入後にレーザーアニールを施したSiGe薄膜の歪評価(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
104.
2018/09/18
パターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
105.
2018/09/18
逆格子空間マッピングを用いたGe
1-x
Sn
x
メサ構造の3軸歪評価(第79回応用物理学会秋季学術講演会)
106.
2018/09/13
Evaluations of Minority Carrier Lifetime in FZ-Si Affected by Si-IGBT Processes(2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018))
107.
2018/07/13
ラマン分光法による酸化膜/Si界面の熱伝導特性評価(第二回フォノンエンジニアリング研究会)
108.
2018/03/20
逆格子空間マッピングによるGe
1-X
Sn
X
メサ構造における異方的格子定数評価(第65回応用物理学会春季学術講演会)
109.
2018/03/20
熱電デバイス用組成傾斜SiGeワイヤの構造評価(第65回応用物理学会春季学術講演会)
110.
2018/03/19
Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価(第65回応用物理学会春季学術講演会)
111.
2018/03/17
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(Ⅲ)(第65回応用物理学会春季学術講演会)
112.
2018/01/19
AlN熱伝導膜の熱伝導率向上によるSiナノワイヤ熱電発電デバイスの出力向上(電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―第23回研究会)
113.
2018/01
Evaluation of Strain in the Oxide Covered Silicon Nanowires for Thermoelectric Devices by Raman Spectroscopy(45th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces)
114.
2017/10/10
Anisotropic Biaxial Strain Evaluation in MOCVD Grown Ge
1-x
Sn
x
Mesa Patterned Structure by Oil-Immersion Raman Spectroscopy(17th Conference on Defect Recognition and Image, Processing in Semiconductors (DRIP XVII))
115.
2017/10/10
Evaluation of anisotropic biaxial stress induced around trench gate of Si power transistor using water-immersion Raman spectroscopy(7th Conference on Defect Recognition and Image, Processing in Semiconductors (DRIP XVII))
116.
2017/09/08
カーボンドープシリコンにおけるフォノン変形ポテンシャルの導出(第78回応用物理学会秋季学術講演会)
117.
2017/09/08
バルクSiGeおよび液浸ラマン分光法を用いたSiGeフォノン変形ポテンシャルの導出(第78回応用物理学会秋季学術講演会)
118.
2017/09/08
水浸ラマン分光法によるAr
+
イオン照射を施した酸化膜被覆型Si ナノワイヤの異方性二軸応力評価(第78回応用物理学会秋季学術講演会)
119.
2017/09/07
ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(Ⅱ)(第78回応用物理学会秋季学術講演会)
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■
学歴
1.
2017/04~2020/03
明治大学 理工学研究科 電気工学専攻 博士後期課程修了 博士(工学)
2.
2015/04~2017/03
明治大学 理工学研究科 電気工学専攻 修士課程修了 修士(工学)
3.
2011/04~2015/03
明治大学 理工学部 電気電子生命学科 卒業 学士(工学)
■
職歴
1.
2020/04~2021/03
公益財団法人高輝度光科学研究センター(JASRI) 客員研究員
2.
2017/04~2020/03
日本学術振興会 特別研究員DC1 日本学術振興会特別研究員
■
所属学会
1.
2015/01~
応用物理学会
■
researchmap研究者コード
R000002872
■
研究課題・受託研究・科研費
1.
2021/04~2024/03
温度可変ラマン分光法によるSiGe混晶の微視的な熱伝導機構解明に関する研究 若手研究
2.
2020/09~2022/03
温度可変放射光X線回折による熱電発電Siデバイスの局所領域熱特性評価に関する研究 研究活動スタート支援
3.
2017/04~2020/03
ラマン分光オペランド測定による極微細熱電発電Siナノワイヤデバイスの熱伝導率評価 特別研究員奨励費
■
受賞学術賞
1.
2020/12
第四回フォノンエンジニアリング研究会 第四回フォノンエンジニアリング研究会 講演奨励賞 (X線非弾性散乱法で観測されるBulk SiGe単結晶フォノンスペクトルの振る舞い)
2.
2020/06
Applied Physics Letters Featured Article (Anomalous low energy phonon dispersion in bulk silicon-germanium observed by inelastic x-ray scattering)
3.
2020/02
電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第25回) 電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第25回) 研究会活性化奨励賞
4.
2019/01
電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第24回) 電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第24回) 研究会活性化奨励賞
5.
2017/03
明治大学大学院 大学院長賞
6.
2015/03
明治大学理工学部電気電子生命学科 電気電子生命学科学業成績優秀賞
7.
2013/04
明治大学理工学部 神保賞
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現在の専門分野
電子・電気材料工学 (キーワード:半導体、熱電発電デバイス)
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科研費研究者番号
10880619
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担当経験のある科目・講演等
1.
電気電子材料1(明治大学)
2.
電気電子生命実験1A(明治大学)
3.
電気電子生命実験1B(明治大学)